磷化膜測厚儀檢測原理與精度分析
1.基本原理
渦流涂鍍層測厚儀的基本工作原理是,當測頭與被測式樣接觸時,測頭裝置所產生的高頻電磁場,使置于測頭下的金屬導體產生渦流,其振幅和相位是導體與測頭之間非導電覆蓋層厚度的函數.即該渦流產生的交變電磁場會改變測頭參數,而測頭參數變量的大小,并將這一電信號轉換處理,即可得到被測涂鍍層的厚度.
2.根據測量原理的分類
（1）磁性測厚法:適用導磁材料上的非導磁層厚度測量.導磁材料一般為:鋼鐵銀鎳.此種方法測量精度高.
（2）渦流測厚法:適用導電金屬上的非導電層厚度測量.此種方法較磁性測厚法精度高
（3）超聲波測厚法:適用多層涂鍍層厚度的測量或則是以上兩種方法都無法測量的場合.
（4）電解測厚法:此方法有別于以上三種,不屬于無損檢測,需要破壞涂鍍層.一般精度也不高.測量起來較其他幾種麻煩
（5）放射測厚法:此種儀器價格非常昂貴(一般在10萬RMB以上),適用于一些特殊場合.國內目前使用最為普遍的是第1、2兩種方法.
3.影響測量精度的原因
(1)覆蓋層厚度大于25μm時,其誤差與覆蓋層厚度近似成正比;
(2)基體金屬的電導率對測量有影響,它與基體金屬材料成分及熱處理方法有關;
(3)任何一種測厚儀都要求基體金屬有一個臨界厚度,只有大于這個厚度,測量才不會受基體金屬厚度的影響;
(4)渦流測厚儀對式樣測定存在邊緣效應,即對靠近式樣邊緣或內轉角處的測量是不可靠的.
(5)試樣的曲率對測量有影響,這種影響將隨曲率半徑的減小明顯地增大;
(6)基體金屬和覆蓋層的表面粗糙度影響測量的精度,粗糙度增大,影響增大;
(7)渦流測厚儀對妨礙測頭與覆蓋層表面緊密接觸的附著物質敏感.因此測量前應清除測頭 和覆蓋層表面的污物;測量時應使測頭與測試表面保持恒壓垂直接觸